氧化铪基薄膜是一种新型的、与CMOS工艺完全兼容的铁电薄膜材料,具有无污染、易于微型化、禁带宽度大等优势,被视作是制备大存储容......

随着半导体集成电路产业的飞速发展,传统的SiO2栅介质材料已经无法满足金属半导体场效应晶体管不断微缩的需求。氧化铪基高介电常......

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近年来,氧化铪基薄膜作为最具有代表性的高介电常数材料,被广泛用于各种电子元器件中。研究显示,氧化铪基薄膜的介电性能主要取决......