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氨化碳薄膜相关论文

晶态氮化碳薄膜沉积及其生长机理研究

本论文采用PE-PLD技术和PE-CVD技术，以Si基片为衬底对晶态CN薄膜制备进行了实验探索，主要探讨不同工艺条件和CN化合物薄膜的结构特性......

学位

氨化碳薄膜等离子体增强脉冲激光溅射沉积(PE-PLD) 等离子体增强化学气相沉积(PE-CVD) 沉积参量生长机理

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