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本工作利用等离子体辅助的脉冲激光沉积技术在Si衬底上生长氮化碳薄膜。通过扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射(XRD)、X射线光电子谱(XPS)......
本论文采用PE-PLD技术和PE-CVD技术,以Si基片为衬底对晶态CN薄膜制备进行了实验探索,主要探讨不同工艺条件和CN化合物薄膜的结构特性......
采用射频磁控溅射技术,用六角氮化硼和石墨为溅射靶,以氩气(Ar)和氮气(N2)为工作气体,在玻璃衬底上制备出硼碳氮(BCN)薄膜。通过改变氮气分......