氮化硅梁相关论文
利用MEMS技术研制了用于高精度谐振式压力传感器的SiN梁谐振器.器件采用电热激动、压阻拾振方式.本文阐述了SiN谐振器的结构、制作......
本文从激振电阻和传感器物理结构两个方面对热激励氮化硅梁谐振式压力传感器输出温漂特性进行了分析.对不同器件的测试证实了分析......
报导一种新型的电热激励、压阻拾振的氮化硅梁谐振式压力传感器.器件采用微电子机械加工技术和键合技术研制.谐振频率85 kHz,空气......
