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本文从激振电阻和传感器物理结构两个方面对热激励氮化硅梁谐振式压力传感器输出温漂特性进行了分析.对不同器件的测试证实了分析结果.针对电热激励硅微梁压力传感器的温漂特点,采用软件方法对温度进行补偿.实验结果表明,在0℃～60℃范围内,输出相对误差大大减小,提高了传感器的温度稳定性.
热激励氮化硅梁谐振式压力传感器的温度特性研究
【摘 要】
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本文从激振电阻和传感器物理结构两个方面对热激励氮化硅梁谐振式压力传感器输出温漂特性进行了分析.对不同器件的测试证实了分析结果.针对电热激励硅微梁压力传感器的温漂特
【机 构】
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中国科学院电子学研究所,传感技术国家重点实验室,北京,100080
【出 处】
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第九届全国敏感元件与传感器学术会议
【发表日期】
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2005年期
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