电热激励相关论文
本文从激振电阻和传感器物理结构两个方面对热激励氮化硅梁谐振式压力传感器输出温漂特性进行了分析.对不同器件的测试证实了分析......
该文对一种以方形硅膜片作为一次敏感元件；硅梁作为二次敏感元件的硅谐振式压力微传感器进行了研究：建立了微传感器敏感结构的数学模......
作者利用微电子机械加工技术成功研制出电热激励、压阻拾振的硅谐振梁式差压力传感器。谐振器在latm在空气中的品质因素Q值近1000，......
该文系统深入地研究了硅微机械谐振器件在光热激励下的理论及其技术,建立了较完善的理论分析体系,弥补了光热激励硅微机械谐器理论......
针对热激励谐振型压力传感器在不同激励电压下会产生不同的热梯度场，进而影响传感器的谐振频率这一现象，采用开环测试系统进行试验，得......
硅微谐振式传感器具有灵敏度和分辨率高、准数字信号输出、抗干扰能力强的优点,在精确测量领域具有独特的优势。其中,电热激励/压......
用理论分析方法研究了硅微悬臂梁的电热激振机理,得到了微机械悬臂梁电热激励下的温度场分布,并推导出了镀膜双层硅微悬臂梁的电热......
采用电热激励、压电拾取方法对硅微机械悬臂梁的谐振性能进行了实验研究.成功实现了对硅微悬臂梁谐振器前三阶振型的实验测试.电热......
研究了用工业ＩＣ技术和微细加工技术制造的硅基双层薄膜谐振器的工作机理，并建立了数学模型。对薄膜谐振效率、振幅及声产生效率与薄膜......
设计了悬臂梁结构电热激励、压阻拾取硅微机械谐振器件,分析了电热激励和压阻拾取的基本工作原理,设计了与Bipolar工艺兼容的器件......
微结构谐振式压力传感器是通过检测其机械谐振器谐振频率的变化来实现压力测量,它的特点是尺寸小,精度高,稳定性好,易与数字电路接......
谐振器件通过检测振动元件的谐振频率或振幅的变化来测量应变、应力、加速度、压力、质量变化以及流量等，广泛应用于力学量传感器中......
微结构谐振式压力传感器是通过检测其机械谐振器谐振频率的变化来实现压力测量，特点是尺寸小，精度高，稳定性好，易与数字电路接口，具有广......
MEMS加速度计具有体积小、重量轻、功耗小、成本低和过载能力强等特点，广泛应用于航空航天、导弹制导、通用航空、车辆控制、工业自......
微结构谐振式压力传感器是一种用频率变化来反映外界压力变化的传感器件，因其尺寸小、精度高、易于与数字设备接口而具有广阔的应用......
制作了电热激励硅/二氧化硅双层微悬臂梁谐振器.对影响谐振器输出电压的因素研究结果表明:减小梁宽度、硅层厚度、环境气压和温度,......
