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法裂纹形貌相关论文
氧化硅薄膜裂纹形貌及影响因素的研究
当薄膜以适当的粘附能结合在基底上时,由于残余拉伸应力的作用,薄膜会同时发生开裂和界面脱层,从而形成许多不同寻常的裂纹形貌,如......
学位
氧化硅薄膜
溶胶凝胶
法裂纹形貌
界面强度
薄膜厚度
通道裂纹
界面脱层
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