溅射气氛相关论文
本文采用磁控溅射技术进行硼掺杂氧化锌透明导电薄膜的制备工作，通过在溅射气 氛中引入氧气与氢气两种不同的反应气氛，分别获得了长......
利用磁控溅射系统,N2和Ar作为溅射气体,生长N掺杂ZnO薄膜。溅射气氛中氮气流量分别为0,8,20,32 mL/min,通过改变氮气的流量,研究薄......
以ZnO陶瓷为靶材,高纯N_2和Ar为溅射气体,利用磁控溅射生长系统制备N掺杂ZnO薄膜.通过改变溅射气氛中N_2的流量,研究ZnO薄膜光学性......
