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灯丝形变相关论文
灯丝形变对金刚石薄膜沉积的影响
研究了热丝CVD系统中灯丝形变引起金刚石薄膜厚度的不均匀性,指出其根源在于灯丝形变使得基底表面温度不均匀,使各处的生长率不一样,并基......
期刊
金刚石薄膜
化学气相沉积
灯丝形变
基底温度
生长率
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