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热传导层相关论文
硫系激光热刻蚀薄膜的制备及其性质
激光热刻蚀是一种制备高分辨微纳结构的新技术。本文系统研究了AgInSbTe和ZnS-SiO2薄膜的激光热刻蚀特性,主要研究内容包括:晶化条......
学位
硫系薄膜
激光热刻蚀
热传导层
图形结构形貌
特征尺寸
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