热场系统相关论文
本文通过对高压液封直拉法InP单晶生长过程的几个重要因素的分析,设计了合适的热场系统,有效地降低了孪晶产生的几率。在自己设计......
光伏发电作为新的能源来源已经被广泛采用,单晶硅光伏电池拥有高的转换效率,长期以来受高端用户的追捧。但成本问题和产能问题一直......
综述了传统炭/炭复合材料和膨胀石墨基低密度炭/炭复合材料在半导体制造业直拉(CZ)法单晶硅炉中的应用。指出了在CZ单晶炉内炭/炭复合材......