热-机械灵敏度相关论文
提出了一种新颖的基于硅基法布里珀罗微腔阵列的光读出红外热成像器件 ,该器件利用光学读出技术将红外图像直接转化为可见光图像 ,......
提出了一种具有“双材料梁-微镜一体化”特征结构的光读出红外成像阵列器件。该特征结构集成了红外敏感、调制和输出读出可见光信......
本文提出了一种光读出红外成像阵列器件的结构设计，该设计提高了器件的热-机械灵敏度，同时能有效降低周围环境温度变化所带来的影响......
提出了一种新颖的光读出红外热成像系统设计.该系统利用光学读出技术将红外图像直接转化为可见光图像,其核心部件是一个基于微电子......
近年来，随着MEMS技术的发展，基于MEMS技术的光读出非致冷红外成像器件由于不需要昂贵的致冷设备和复杂的读出电路，成为研究的热点。本......
随着MEMS技术的发展和逐渐成熟，非致冷热成像技术在近几年取得了突破性的进展。其中，光学读出非致冷热成像技术是近几年红外研究领域......
研究了具有“双材料梁-微镜一体化”特征结构的光读出红外成像阵列器件的机械特性对其性能的影响。通过理论计算和ANSYS模拟，分析了......
利用一种近似理论——悬臂梁理论对光读出热成像芯片进行了优化设计 ,所采用的 Al/ Si O2 双材料体系 ,其关键性能指标——热 -机......
