微机械相关论文
现有发展和研究的微机械陀螺仪可分为线振动和环振动两类,前者具有大哥氏敏感质量占比、驱/检模态运动易解耦的高灵敏特点,而后者......
自然杂志授予了一项新的“本世纪的技术”它被称为“芯片实验室”,微流控芯片就是其中之一,自然杂志文章中从多方面的阐述了微纳流......
MEMS电磁继电器是继电器微型化主流方案、代表了未来继电器高端产品的发展趋势.但触头弹跳已成为限制其寿命、制约实用化的瓶颈问......
本文根据近几年毫米波波段新型结构传输线的最新研究成果,对几种典型的微机械传输线结构特点进行了综述,讨论了在毫米波波段的应用......
研究了一种新型硅-空气复合基底层叠短接式微机械贴片天线,采用微机械工艺和有效的宽带化技术制造 的天线长度只有1/8波长,带宽达......
提出了一种微带馈电的微机械双C微带天线.天线由两C型贴片构成,贴片间通过短路壁相连.天线采用硅和Teflon材料作混合基底.采用微机......
提出了一种利用微机械工艺制造的红外热堆探测器阵列,阐述了红外热堆探测器的结构、工作机理与工艺步骤.该探测器阵列用氮化硅与氧......
本文提出了一种基于多孔硅牺牲层技术的叉指电容式加速度传感器,并对其结构与制作工艺进行了具体的分析;为了检测微小的差分电容,......
介绍了非致冷微测辐射热计红外焦平面阵列器件的结构、原理和应用,给出了利用与集成电路工艺兼容的微机械技术制作微测辐射热计的......
提出了一种将多孔硅牺牲层应用于制作悬浮薄膜结构的方案.采用专用容器在不同浓度的HF溶液生成了多孔硅,并对其质量进行了比较.高......
石英微机械惯性器件(陀螺、加速度计、惯性测量组合)有广泛的应用领域和很好的发展前景.文章首先叙述了石英微机械振动陀螺和石英......
说明了电子隧穿传感器的工作原理;阐述了微机械电子隧穿红外探测器、微机械电子隧穿加速度计、微机械电子隧穿磁强计等典型的微机......
介绍了用便携通信设备的新型集成微机械微带天线的特性及应用,讨论了参数的优化方案,这种天线可广泛用于个人通信系统、蓝牙通信、......
本文主要讨论了微波微机械接触式开关的设计、工艺制备和测试结果.我们所设计的接触式开关不同于以往所使用的悬臂梁式的结构,而是......
基于薄膜热电偶结构的热电堆器件被广泛地应用于各个领域:如辐射探测器,气流检测计,以及真空计等.随着微电子技术的发展,器件地不......
主要基于二氧化钒(VO2)薄膜在约68℃半导体和金属间的可逆相变，其电学和光学特性发生巨变，通过控制温度来实现高透过率到高反射率的......
纳米技术的发展已初见端倪，在许多工业领域创造出可观的产值。本文介绍了纳米材料与纳米技术,从纳米技术在微机械领域的应用入手,展......
设计了一种非硅基底MOEMS 可变光衰减器。该器件以电磁线圈驱动齿轮/齿条啮合机构，带动偏心轮，从而移动挡光片调节光衰减量，使其光衰......
可变光衰减器是一种关键的光纤通信无源器件，本文介绍了一种新型的采用二次扩散/刻蚀正面体硅工艺制作的光通信用挡板式微机械可变......
近年来,由柔软和自适应性强的材料组成的智能软体执行器以其高灵活性、生物兼容性和对高负载的机械弹性等一系列优势引起了人们的......
系统阐述微机电系统及微机电系统技术的加工工艺、测试技术、研究课题、应用前景.最后就微机电系统与技术的发展前景及其国内外发......
阐述了对硅悬臂梁谐振子进行光激励研究的结果，结果表明，谐振子的振幅与激励光斑的位置以及所激励的模态有关，在模态的两节点的中心位......
介绍一种新颖的全光型硅微机械流量传感器。给出该传感器结构及工作原理的理论分析，并阐述传感器样品的测试及结果。流量传感器具有......
推导出了一个适用于槽板结构压膜空气阻尼的微分方程.该方程与传统雷诺方程的区别是在雷诺方程的左边增加了一个用以表示气体从槽......
利用倾斜支撑微梁结构大挠度后屈曲的非线性横向刚度,设计了一种新型屈曲式微机械加速度开关.该开关采用倾斜微梁支撑敏感质量块,......
本文报导了用ＳＦ＿６＋Ｎ＿２混合气体反应离子刻蚀Ｓｉ及其剖面的实验结果，研究了在刻蚀时，混合气体的成份和射频功率密度对Ｓｉ的蚀速影响以及Ｓｉ的负载效应，通......
光栅光阀（GLV）的支持者正准备在芯片显示器这一新兴市场中竞争。根据斯坦福大学所作的微机械研究，这种新型光调制器通过光栅产生而处......
报道了用光致抗蚀剂作牺牲层材料制作可动微机械结构的一种新技术。用这种技术制作可动微机械，动件和固定件同时制作。要求的掩模数......
日本名古屋大学的生田幸士教授等新近开发出简单的微机械制作方法,可以制作直径几十微米的齿轮、车轮、链条等部件。用聚焦成非常......
日本九州工业技术研究所无机复合材料部的野中一洋主任研究员等人,研究了能够提高光电转换器件的性能,确立材料合成法。该研究所......
微机械（Ｍｉｃｖｏｍａｃｈｉｎｅ、Ｍｉｃｒｏｍｅｃｈａｎｉｓｍ）以单晶硅、高分子、金属薄膜、陶瓷等为材料，利用微电路制造中常用的微细加工技术，在同一硅芯片上制造出与微电路配合协调的......
阐述了对硅悬臂梁谐振子进行光激励研究的结果。结果表明，谐振子的振幅与激励光斑的位置以及所激励的模态有关。在模态的两节点的中......
提出了用虚拟现实技术实现ＭＥＭＳ的快速原形设计的思想，并具体给出了虚拟环境中的实现步骤。核心是在虚拟环境中实现ＭＥＭＳ器件的部件设计，拟实组......
ZN）l）1）7IMgg【日〕/大森鳖,山形丰…斤机饯技术.一2000,48微型激光扫描反射镜一?{夕口卜一十一X人（l）.一60～63。）夕55[日〕/浅田规裕/光7......
ＭＥＭＳ技术已有２０年历史，是由复杂的机械与微尺寸图形组成的先进微机电技术。从２０世纪８０年代初开始，ＭＥＭＳ已经开发出从计算机控制杆到汽车气囊传感器和......
介绍了一种新型的非制冷高灵敏度硅微机械电子隧穿红外探测器的工作原理 ,详细描述了这种红外探测器的设计思想和制作工艺 ,采用微......
分无镀膜 (或镀膜很薄 )和有较厚镀膜两种情况 ,对硅微谐振器的光激励振幅进行了分析计算 .针对有较厚镀膜的硅微谐振器 ,在理论分......
