二氧化硅在VLSI中起着极其重要的作用.氧化层击穿是MOS VLSI的主要失效机理,并已成为电子设备中可靠性问题的重要原因。难解决的......

本文用EBIC法对SBD元件进行了观测。在加速电压1—2.5kV、束流约3×10~(-12)A的条件下,对SBD元件的结深进行了非破坏性测量,其值约......

应用扫描电子显微镜（SEM）对GaP半导体材料的p-n结进行线扫描，得到电子束感生电流（EBIC）的线扫描曲线.给出一简单模型，对GaP样品n区的EBIC......

电子束照射下电介质/半导体样品的电子束感生电流(electron beam induced current,EBIC)是其电子显微检测的重要手段.结合数值模拟......

一、引言 扫描电子显微镜的电子束感生电流技术广泛地用于测量半导体的物理量。本文主要介绍利用这种电子束感生电流信息确定PN结......