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硅尖端相关论文
硅微尖端的研制和应用
利用半导体微细加工工艺,在硅片上制作出高150μm、尖端直径小于1μm的硅尖端阵列.还成功地研制了高1.5μm、尖端直径小于0.2μm的......
会议
微尖端
微细加工工艺
硅尖端
反应离子刻蚀
电子束曝光
直径
域的应用
场致发射
三级管
硅纳米
半导体
制作
阵列
特性
锐化
硅片
方法
测试
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