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铂—镍硅化物/硅接触肖特基势垒的形成方法
本工作研究了低温固相反应形成铂-镍硅化物/硅接触肖特基势垒的方法。介绍了用磁控溅射方法淀积金属薄膜和溅射工艺过程应注意的问题......
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