硅棒相关论文
在改良西门子法生长原生多晶硅棒的生产工艺中,硅棒产品会出现硅芯夹层现象,影响多晶硅硅棒的生长和产品品质,导致产品不达标或者......
针对人工接触式硅棒参数检测中存在的耗时、低效、误检等问题,提出一种采用四CCD机器视觉系统作为硅棒参数实时检测的非接触式测量......
多晶硅后处理生产工艺是多晶硅生成后的二次加工过程,国内目前没有成熟的设计方案。基于多晶硅后处理工程设计经验,介绍了该工艺的......
通过分析硅芯硅棒清洗方式的现状,提出其自动清洗设备研制的必要,介绍了全自动硅芯硅棒清洗机的技术参数和工艺流程,详细分析了设......
针对硅棒在切割加工过程中加工精度不足、效率低等问题,研发了一款用于硅棒加工的金刚石切割夹具。为了使夹具系统的性能更好,使用......
介绍了一种半导体全自动滚圆开槽成形磨床的基本布局,对加工零件和机床内关键技术及主要部件做了重点说明。通过对半导体硅棒磨削......
对添加内衬的新型多晶硅还原炉内的传热过程进行数值模拟,分析了12对棒还原炉中内衬热导率、辐射率对多晶硅还原炉能耗及内衬表面......
在KX260晶体生长系统上装备24英寸(1英寸=2.54 cm)热场,装料量为120 kg。采用5种不同的初始埚位(-50,-60,-70,-80,-90 mm),其他工......
考虑西门子反应器中对流、辐射以及化学反应热三种热传递形式，建立了硅棒的二维轴对称热传递模型。相比于对流和化学反应热，辐射是最......
