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直拉硅的现状与发展
本文综述了制造集成电路(IC)用直拉硅的现状与发展.对大直径生长用磁场拉晶技术;硅片中缺陷的控制与利用(缺陷工程);大直径硅中新......
会议
直拉硅单晶
扩散控制
等效微重力
空洞型缺陷
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直拉硅单晶生长的现状与发展
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