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硅纳米圆锥结构具有独特的几何形貌、非常优异的场发射性能和防反射性能及其机械性能，在微电子器件、平板显示器场发射阵列、太阳能......
以金刚石薄膜为掩膜，采用低能Ar^＋束室温倾角溅射的方法制备密度和形貌可控的硅纳米圆锥阵列。扫描电子显微镜（SEM）结果表明，离子束溅射......
利用碳薄膜作为模板,采用能量1.2keV的Ar离子束室温溅射的方法制备了大面积高密度的硅纳米圆锥。硅纳米圆锥的密度约为（1—2）×1......
