硅衬底片相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

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Ramping热退火直拉重掺锑硅衬底片增强氧沉淀

该文报道了一种改进该征吸末技术－低温短热退火工艺。以增强该征吸杂效果。在该征吸杂工艺的低温热退火中，用连续的线性缓慢升温（Ｒａｍｐｉｎｇ）退火......

会议

重掺锑硅衬底片氧沉淀低温短热退火

硅基平面热线式NH<,3>敏元件的研究

利用液相掺Sb的化学共沉淀方法制备了SnO-Sb纳米微粉，以其为气敏基体材料加入一些适量的掺寻研磨成气敏浆料，涂于带有Pt膜电极的硅衬......

会议

基平面热线式气敏元件化学共沉淀气敏浆料纳米微粉基体材料硅衬底片选择性膜电极液相烧制溶液含浸法制

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