重掺锑相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

重掺锑相关论文

氮对重掺锑直拉硅中氧沉淀的影响

通过在不同条件下退火，研究氮杂质对重掺锑硅(HSb-Si)中氧沉淀的影响．实验结果表明，在高温单步退火(1000～1150℃)和低高两步退火(650℃......

期刊

直拉硅重掺锑氧沉淀 Czochralski siliconheavily Sb-dopedoxygen precipitation

重掺杂对直拉硅单晶机械性能的影响

硅单晶的机械性能是包括集成电路在内的器件的制造和封装的限制因素。同时,硅单晶的机械性能还在无位错单晶生长、外延沉积以及硅......

学位

直拉硅单晶重掺磷重掺砷重掺锑重掺锡机械性能

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