硅-氧化硅相关硕士博士期刊学术论文

本文报道了利用质量分离低能双离子束淀积法在硅－氧化硅图形衬底上采用不同的工艺条件淀积钴离子，并生长硅化钴薄膜，扫描俄歇微探针（ＳＡＭ）和......