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磁电加热相关论文
电极环对离子加热温度的影响
在非对称磁镜场微波ECR等离子体中引入了磁电加热系统,研究了电极环大小、轴向位置以及双环加热对离子温度的影响。结果表明,大小合......
期刊
磁电加热
ECR等离子体
磁镜场
离子温度
Magnetoelectric heating
ECR plasma
Magnetic mirror field
微波ECR等离子体的磁电加热研究
利用磁镜场ECR等离子体源中的离子在强磁场区的回旋运动来实现CVD金刚石膜的抛光,相对于现有的离子束抛光研究,该方法具有抛光面积大......
学位
ECR等离子体
磁电加热
离子温度
电极环
等离子体刻蚀
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