ECR等离子体相关论文
本文在自主设计的ECR等离子体装置上开展了等离子体电子、离子参数的测量研究，并利用ECR等离子体对等离子体化学气相沉积（PCVD）金刚石......
用微波电子回旋共振（ECR）等离子体化学气相沉积（CVD）技术和CHF_3、C_6H_6源气体的新组合沉积了F/C比在0.11-0.62之间的氟化非晶碳（α-C:......
该论文介绍了几种氮化物薄膜的低温合成和对氮化物薄膜的性质研究.低温合成制备优质的氮化物薄膜的关键是低温条件下化合物的形成......
本论文的研究对象为对固体的脉冲激光烧蚀(PulsedLaserAblation，PLA)产生的等离子体(简称PLA等离子体)和对气体的电子回旋共振(Elec......
氢在GaN薄膜制备工艺中扮演很重要的角色,氢主要有两个来源,一是载气氢,另一个来源是从TMG气源本身离解出来的氢产物。本文研究了......
利用电子回旋共振(ECR)微波放电等离子体对单晶硅表面进行了低温大面积氮化和氧化处理的探索，在低于80℃的温度下得到了均匀的厚度......
将磁控管方式溅射用于微波ＥＣＲ等离子体沉积技术。在低气压和低温下沉积了高度Ｃ轴取向的ＺｎＯ薄膜，其膜的沉积速率比普通ＥＣＲ溅射中所得到的速率大......
用苯作源气体在一个微波电子回旋共振等离子体系统中沉积了含氢非晶碳薄膜,研究了沉积参数对膜的生长速率的影响.为了探索该种薄膜......
提出了用微波电子回旋共振等离子体溅射法 (ECR)在石英晶体表面制备出性能优异的TiN薄膜 ,研究了TiN薄膜的性能以及作为液体黏度检......
利用最新自行研制的电扫描发射度探测系统,在ECR离子源上进行了一系列关于ECR离子源引出束流发射度的研究.这套电扫描发射度探测系......
采用静电探针技术对微波电子回旋共振(MW-ECR)等离子体进行了诊断,利用等离子体增强非平衡磁控溅射(PE-UMS)法在常温下制备了Zr-N......
研制了一台高速率溅射的ＥＣＲ等离子体沉积装置。采用微波真空波导及反常模式或输入技术，利用腔内双靶构成的电场镜，使高能γ电子在电场镜......
在真空环境下，用采集板模拟离子作用将电子束从ECR中和器中引出，实验研究ECR中和器结构以及工作参数对引出电子束流和中和器性能的影......
等离子体尤其是低温等离子体由于其一系列特殊的性质，广泛应用于薄膜沉积、微电路干法刻蚀、材料表面改性等方面。本文介绍了目前经......
在非对称磁镜场微波ECR等离子体中引入了磁电加热系统，研究了电极环大小、轴向位置以及双环加热对离子温度的影响。结果表明，大小合......
采用电子回旋共振（ECR）等离子体在不同的磁场位形和工作气压下刻蚀化学气相沉积（CVD）金刚石膜,运用双探针和离子灵敏探针法对等离子体......
研究了用十甲基环五硅氧烷和三氟甲烷电子回旋共振等离子体沉积的掺FSiCOH低k薄膜中，CHF，／DMCPS比对薄膜结构、成分、介电性能、热稳......
低轨道航天器的空间等离子体环境主要为低温、低密度、等离子体。文章详细叙述了等离子体对航天器的影响及其两个ECR微波等离子体......
为了深刻理解微波电子回旋共振（ECR）等离子体的物理机制、瞬态过程以及空间分布特性，首先利用光栅光谱仪对ECR氮等离子体发射光谱进行......
本文根据大连理工大学三束材料改性国家重点实验室的电子回旋共振（ECR）微波等离子实验装置，结合等离子体源中的各种物理参量，采用一种......
利用双探针对微波ECR氧离子体参数进行了诊断研究，测量了等离子体的双探针伏安曲线并计算出电子温度和离子密度，分析了气压、微波功......
测量了两种磁场位形中微波ECR等离子体的电子参数,研究了磁场位形对电子参数空间分布的影响,结果表明：发散场中电子温度在轴心和腔......
对国际上普遍采用的两种EUV光源：放电等离子体源（DPP）和激光等离子体源（LPP）进行了多方面比较。给出了两种等离子体源各自优点及难以克......
高密度等离子体在包括离子注入、等离子体刻蚀和沉积在内的等离子体工艺中有着重要的应用。微波电子回旋共振等离子体(ECR)是典型......
辐照损伤是核材料研究中最具特色和难度的重要问题。特别是由于α放射性的固体所产生的α粒子(如钚)或含氚材料中因氚衰变产生的氦......
本论文的主要内容是把在脉冲激光烧蚀（pulsed laser ablation,PLA）和微波放电（microwave discharge,MD）技术基础上摸索的ECR等离子体辅......
对固体或液体的脉冲激光烧蚀(Pulsed Laser Ablation,简称PLA)可以产生超饱和度、高电离度、高速膨胀的瞬变PLA等离子体。本文主要......
随着半导体光电材料从GaAs材料向新一代GaN基材料的发展，制备长寿命、高亮度、低能耗的薄膜发光光电材料成为当前半导体光电材料工......
电子回旋共振（ECR）等离子体由于具有工作气压低、等离子体密度高等优点,广泛应用于微电子刻蚀、薄膜材料沉积、材料加工、材料表面技......
使用电子枪对ECR(Electron Cyclotron Resonance)等离子体注入外电子束是继铝衬弧腔、偏压盘之后,对等离子体电子的额外补充的又一......
