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等线损相关论文
多线切割单晶硅等线损模型及其工艺研究
通过建立等线损切割模型,推算出等线损计算方法,同时研究了不同切割工艺参数对等线损工艺的影响。结果表明:钢线速度越快,回线率越......
期刊
多线切割
等线损
进给速度
回线率
Multi-wire sawing
Constant wire wear loss
Feeding speed
Wire f
集成电路单晶硅片多线切割加工机理及等线损工艺研究
集成电路是现代信息社会的基石,其制造能力及水平,决定着一个国家工业实力及水平。在集成电路制造流程中,切片工序是单晶硅片制备......
学位
集成电路
多线切割
单晶硅片
等线损
回线率
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