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纳米掩膜光刻相关论文
基于体微加工技术的固态纳米孔制备与应用研究
基于固态纳米孔搭建的传感平台已经在多个研究领域有着重要应用,并取得了重要进展,如生物传感、分子测序、海水淡化等领域。固态纳......
学位
锥形硅基固态纳米孔
各向异性特性
可控制备
原子层沉积
纳米掩膜光刻
硅基纳米孔阵列制造技术基础研究
基于纳米孔的DNA测序技术激发了全世界对固态纳米孔的研究热潮。实际上,除了作为生物传感平台,固态纳米孔在近场光学、能量转换、......
学位
硅基纳米孔
湿法刻蚀
干法刻蚀
纳米孔收缩
纳米掩膜光刻
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