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纵向结构均匀性相关论文

高速微晶硅薄膜沉积过程中的等离子体稳态研究

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微晶硅薄膜晶化率光发射梯度法纵向结构均匀性氢气流量高速沉积电子温度薄膜质量沉积时间

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