芯片集成化相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

芯片集成化相关论文

基于SOI压力和磁场多功能传感器集成化研究

本文根据压阻效应和磁敏二极管工作原理,以SOI片为衬底(器件层为n型<100>晶向高阻硅),采用MEMS技术构建压力和磁场多功能传感器集......

学位

多功能传感器压力传感器磁敏二极管 MEMS技术 SOI片

微流控芯片加工和试样引入技术的研究

微流控芯片(Microfluidic Chip)分析是微全分析系统(Miniaturized Total Analysis Systems,μTAS)或芯片实验室(Lab-on-a-chip)领......

学位

微流控芯片玻璃基质低温键合室温键合滴液式试样引入接口微扩缩泵芯片集成化毛细管电泳氨基酸分离

看过本文同时还关注