衍射干涉相关论文
精密位移测量技术在航空航天军用领域、超精密机械等工业技术领域都有着重要的应用。基于衍射光栅的位移测量系统以光栅栅距作为测......
为克服传统星敏感器精度与视场、体积、质量等参数难以兼顾的问题,本文研究了一种基于衍射光栅的高精度干涉星敏感器结构.利用角谱......
论证了氮化硅三角形微探针可以作为一个后向点衍射板的光学原理，并根据这一原理设计了一种用于扫描力显微镜的微型干涉光探针，它利用......
星敏感器具有安全、可靠性高、精度高和抗干扰性强的优点,在地球遥感、地球测绘、洲际导弹和行星测绘等方面得到了广泛应用。随着......
光刻就是将掩模版上的图形转移到基底的过程,广泛应用于微电子、微机械领域。衍射现象是光刻工艺无法避免的问题,当掩模图形尺寸接......
本文提出实物粒子波动性不是自身特性,而是微观粒子在一定宏观作用下的统计规律表现,波动性原因不在于微观粒子自身,而在于宏观作......
在相移算法的点衍射干涉术的基础上，提出了基于傅里叶变换的点衍射干涉测量术。基于傅里叶变换的点衍射干涉测量术是一种建立在点光......
论证了氮化硅三角形微探针可以作为一个后向点衍射板的光学原理，并根据这一原理设计了一种用于扫描力显微镜的微型干涉光探针，它利用......
精密测量是精密机械加工的基础,是制造行业中影响制造精度的决定性因素之一,在当代精密机械制造领域应用广泛。基于光栅的精密位移......
介绍了基于几何莫尔条纹原理和衍射干涉原理的两种光栅精密位移测量系统及各自的特点。综述了国内外对光栅干涉式精密位移测量系统......
光电轴角编码器广泛应用于精密角位置的测量、数控及数显系统中 ,是国内外研究的热点。采用衍射、干涉技术的光电轴角编码器 (简称......
