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金属微柱阵列结构相关论文
金属微光栅及金属微柱阵列结构的制作工艺
随着MEMS技术的迅速发展,军事装备、通信网络信息业、生物医学工程、汽车工业等领域对金属微器件的需求日趋增多。与此同时,UV-LIG......
学位
金属微光栅
UV-LIGA
金属微柱阵列结构
高温灰化
高深宽比
提高微电铸层与金属基底界面结合性能的机理与方法
随着微机电系统的发展,金属微器件越来越受到人们的关注。金属微器件的制作方法有多种,包括电火花加工技术、激光加工技术和微电铸......
学位
超声
微电铸技术
界面结合能
压应力
晶粒尺寸
金属微柱阵列结构
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