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钼溅射靶材相关论文
钼溅射靶材的制备及其组织与镀膜性能的研究
钼(Mo),因其良好的导电性、热稳定性以及与基体良好的附着性,已作为电极、布线及扩散阻挡层材料广泛应用于半导体集成电路、记录介质、......
学位
钼溅射靶材
铌钽合金化
磁控溅射
微观组织
镀膜性能
钼溅射靶材的应用、制备及发展
随着平面显示器行业和光伏行业的迅速发展,钼溅射靶材的需求量越来越大。本文就钼溅射靶材的特点,从其应用、市场、制备工艺以及发......
期刊
钼溅射靶材
应用
制备
发展
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