铌钽合金化相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

铌钽合金化相关论文

钼溅射靶材的制备及其组织与镀膜性能的研究

钼（Mo），因其良好的导电性、热稳定性以及与基体良好的附着性，已作为电极、布线及扩散阻挡层材料广泛应用于半导体集成电路、记录介质、......

学位

钼溅射靶材铌钽合金化磁控溅射微观组织镀膜性能

铌钽合金化对钼合金靶材组织与薄膜结构的影响

采用模压和真空热压烧结工艺制备了钼铌和钼钽两种钼合金靶材,以薄膜半导体-液晶显示器(TFTLCD)无碱玻璃为衬底,磁控溅射沉积了不......

期刊

钼靶材铌钽合金化靶材组织薄膜结构方阻

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