铟稼锌氧化物(IGZO) 相关硕士博士期刊学术论文

本论文主要研究以通过磁控溅射制备成薄膜的铟镓锌氧化物(IGZO)为有源层,以二氧化硅为绝缘层的薄膜晶体管(TFT)。研究了薄膜厚度和......