集群磁流变效应相关论文
本文进行了氮化铝基片的集群磁流变抛光加工研究,分析了主要工艺参数的影响和加工表面形貌特征。实验结果表明：集群磁流变抛光加工......
采用集群磁流变效应研磨加工工艺进行SrTiO3陶瓷基片研磨加工,分析了研磨盘材料、磨粒种类、研磨压力和磨粒团聚等因素对SrTiO3陶......
基于磁流变效应和集群原理提出集群磁流变效应平面抛光技术，对磁极排布方式、端面形状及其尺寸的磁场特性进行静磁场有限元分析优化......
以集成电路(IC)和光电子器件制造为代表的微电子和光电子制造是电子信息产业的核心,也是当今世界竞争最激烈、发展最迅速的产业。......
随着微电子技术的发展,对于半导体硅片材料、结构陶瓷、功能陶瓷等材料的需求越来越多,为了更好的利用其特殊的材料性能,需要对这......
采用集群磁流变效应研磨加工方法对氮化铝（A1N）陶瓷基片进行研磨加工，系统地分析了主要工艺参数的影响和最终经过精密研磨后的加工表......
随着光电子／微电子器件应用的日益广泛,对相关元件的质量提出了更高的要求需要在加工过程中最大限度地提高加工质量,其中对以单晶硅......
基于集群磁流变效应超光滑平面抛光理论及试验装置对单晶碳化硅基片进行了平面抛光试验，结果表明，金刚石磨料对单晶Sic基片具有较高......
