非对称双极脉冲反应相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

非对称双极脉冲反应相关论文

非对称双极脉冲反应磁控溅射制备TiN/NbN多层膜

采用非对称双极脉冲磁控溅射制备了一系列不同调制周期的TiN/NbN纳米多层膜.利用X射线衍射分析(XRD)、纳米压痕仪、扫描电子显微镜......

会议

纳米多层膜力学性能调制周期非对称双极脉冲反应磁控溅射 X射线衍射

TiN/MeN纳米超硬多层膜的研究

本文利用非对称双极脉冲反应磁控溅射的方法制备了具有不同调制周期的TiN/MeN(Me=NbZr)纳米多层膜。研究了多层膜结构和性能随着调......

学位

纳米多层膜调制周期超硬效应非对称双极脉冲反应磁控溅射超点阵结构

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