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靶材设计相关论文

半导体用高利用率长寿命溅射靶材的研制

半导体制造工艺中使用的高纯金属溅射靶材的利用率直接关系到靶材自身的使用寿命和芯片制作的成本,在靶材研制中需要重点关注。以......

期刊

溅射靶材半导体靶材设计利用率长寿命

磁控溅射铁磁性靶材的研究进展

磁控溅射铁磁性材料是制备高性能磁性薄膜的主要方法。由于铁磁性靶材的磁屏蔽效应,实现磁控溅射较难,这是限制铁磁性材料镀膜的一......

期刊

等离子体磁聚铁磁性靶材靶材设计磁控溅射

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