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10^-10Pa溅射离子泵和非蒸散型吸气剂的复合泵
不改变商用SIP的基本结构,把NEG组件WP1250装入SIP,构成(SIP+NEG)的XHV复合泵.它使SIP和NEG的特点互补,综合性能优越.NEG激活前,SI......
期刊
溅射离子泵
非蒸散型吸气剂
复合泵
真空泵
Sputtering ion pump (SIP)
Non evaporative getter (NEG)
(SI
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