溅射离子泵相关论文
溅射离子泵又被称为潘宁泵,主要由钢制阳极筒、钛合金阴极板、铁氧体永磁铁、过载保护直流电源、不锈钢泵体等部分组成。具有工作......
溅射离子泵又称潘宁泵,是一种广泛用于超高真空系统中的清洁真空泵。溅射离子泵阳极筒空间中的电子在电磁场的作用下与气体分子碰......
本文详细介绍了上海光源常用溅射离子泵性能测试的方法和原理,并对极限真空度,有效抽速,洁净度进行了测试.结果表明,溅射离子泵的......
铯束管超高真空长期维持特性是铯原子钟的关键技术指标之一,真空度会影响铯原子钟的性能指标及寿命。材料表面放气率是影响铯束管......
本文叙述在钛溅射离子泵超高真空系统上利用小型180°磁质谱计(Zh-3型)所做的剩余气体分析的实验。系统采用全金属密封、带冷阱的......
把真空技术应用到粒子加速器中,必须满足加速器的一些要求,适应加速器的环境条件。这就给真空技术工作者提出了一些新的需要解决......
自从1950年Bayard-Alpert电离计发明以来,真空技术逐步向超高真空领域推进。特别是现代科学技术──原子能、电子计算机和空间技术......
本文详细地叙述了预真空残气质谱分析的设备和方法,并且提供了一系列目前常用的预真空获得方法的残气质谱图。通过对这些残气质谱......
一个为强流短脉冲电子枪烘烤排气和阴极分解激活工艺专用的超高真空排气台已完成调试工作。该排气台由电子枪排气用的超高真空机......
描述了上海天文台在2008年为提高被动型氢原子钟真空系统的可靠性所研制的由非蒸散型吸气剂泵和小离子泵组成的复合泵的实验过程,......
本文介绍溅射离子真空泵控制电源自动保护功级的几种常规方法 ,重点介绍电源的可能出现的一种罕见故障及其解决的方法
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针对溅射离子泵高压电源应具有的负阻特性,本文详细介绍了负阻性DC/DC开关电源控制电路的组成和工作原理。在此基础上,成功研制了......
为提高上海天文台的主动型氢原子钟真空维持系统——240L／s钛溅射离子泵3～4年就可能出现的可靠性问题，研制了非蒸散型吸气剂泵和2L／s小......
在现代企业向国际化接轨的过程中,老牌国有企业如何再次焕发青春,如何发挥自身优势,如何在竞争中站稳脚跟,上海真空泵厂厂长的说法......
不改变商用SIP的基本结构,把NEG组件WP1250装入SIP,构成(SIP+NEG)的XHV复合泵.它使SIP和NEG的特点互补,综合性能优越.NEG激活前,SI......
介绍了溅射离子泵的工作原理及其对N2、O2、H2和惰性气体的排气机理,采用开槽阴极、增加一个离子收集极、泵内阴极做成蜂窝形对其......
在大型高功率激光驱动器中,多级空间滤波器是抑制光束高频成分的非线性增长、改善光束传输质量的有效措施之一。高能激光束在到达......
本文介绍了一种高抽速体积小巧的由溅射离子泵和吸气剂泵组合而成的复合泵,其特别适用于超高真空实验室设备、便携式真空仪器等领......
对涡轮分子泵无油超高真空系统及溅射离子泵无油超高真空系统的结构及操作方法作了介绍,并对它们相关的特性进行了讨论.......
建立了描述溅射离子泵抽气单元抽气特性的计算模型。采用商业软件COMOL Multiphysics,将等离子体模块、磁场模块、带电粒子追踪模......
介绍了兰州重离子加速器(HIRFL)前束线真空系统的基本结构,给出了HIRFL前束线真空系统改造前的流导、气体负荷及压力分布情况.提出......
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基于有限元法,对溅射离子泵抽气单元内气体放电及离子输运过程进行了研究.采用商业软件COM SOL M ultiphysics将等离子体模块、磁......
简介 本文讨论了一个新的溅射离子泵的结构。这个泵的特点包括:(1)高的抽气能力; (2)完全闭合的磁路;(3)可以更换场的水冷阴极。这......
在相同的条件下使用同一套测试装置,按照国家机械行业标准JB/T2965—92的要求,对国内几个主要溅射离子泵生产厂家提供的商用溅射离......
我所为完成原第一机械工业部下达的７２１８１超高真空技术研究课题，研制了Ｌ－１００型三极溅计射离子泵。经试验、鉴定，该泵抽速为１６０Ｌ／ｓ，极限真空为２．９×１０－１０Ｐａ（ＳＧ－４型冷磁控......
本文首先叙述了清洁超高真空的基本概念，并指出了污染的来源及其危害性。 叙述了各种清洁的超高真空获得手段。主要介绍了溅射离子......
本文介绍了一种非蒸散型吸气剂（NEG）与微型溅射离子泵（SIP）集成构成的微型复合溅射离子泵。测试结果表明，当吸气剂激活后，复合泵的抽速达......
一、引言自从1954年Gurewitsch和Westendorp发表“Ionic pump”以来。距离现在已有三十多年。在此期间,溅射离子泵取得了很大的进......
密封铯束管是铯原子钟的物理部分,也是一种电真空器件。但是有关铯束管的真空设计方法在文献中很少讨论。本文提出了一种设计方法,......
