157nm激光相关论文
157nm激光被视为光刻和微加工的有力工具之一,其加工的表面质量强烈依赖于激光参数。针对157nm微加工的特点,提出建立人工神经网络......
摘 要:157nm激光是近年新发展起来的一种光刻工具。由于157nm激光是波长较短的激光,其光子能量大,可直接应用于超硬的陶瓷和半导体材......
为了研究157nm激光工艺参量对刻蚀性能的影响,采用157nm深紫外激光对两种宽禁带材料(石英玻璃和蓝宝石)进行微刻蚀试验,得到了理想的工......
光纤传感器由于具有抗恶劣环境能力强、无源、可远距离遥测等优点,近年来已成为传感器领域的主流方向之一,同时在满足国家重大需求......
氮化镓宽禁带材料因其耐腐蚀性、热稳定性好,是制备LED光电子器件的优质材料。石英光纤材料在光纤通信与传感方面用途广泛,其重要......