微加工相关论文
飞秒激光具有极高的瞬间功率和超短脉冲宽度,可用来在原子和电子的层面上观测物质,并且具有超高精度和空间分辨率,也适用于各类材......
随着我国航空航天、微电子和医疗等领域的快速发展,组成元件逐步迈向微型化和精细化,这对零部件的切割以及微米级孔、槽等结构的加工......
真空沿面闪络是一种真空环境下沿绝缘子表面发生的贯穿性放电现象,闪络电压一般远低于真空击穿电压和绝缘材料的体击穿电压,已经成......
目前针对各种改性PbO2电极的电化学性能研究多停留在宏观层面,所得到的电化学性能参数是整个电极测试区域的平均值,难以区分电极表......
微透镜阵列是一种被广泛应用于光信息处理、光传感、光计算、光通信和高灵敏度成像等领域的精密光学元器件之一.通过一些先进的制......
We present a category of novel photothermal (PT) microactuators. Each microactuator consists of two PT arms that are joi......
本文对140GHz 带状注弯折波导的色散特性和耦合阻抗进行了仿真.CST微波工作室的仿真表明该波导在140GHz时,波导内电磁波的轴向相速......
综述了飞秒激光进行材料加工的多种机理和理论;主要介绍了飞秒激光对玻璃、石英、金属、聚合物等各种材料加工的最新研究进展状况......
飞秒激光微加工技术具有加工精度高、热效应小、损伤阈值低以及能够实现真正的三维微结构加工等优点,这些特性是传统的激光加工技......
当高强度短/超短脉冲激光聚焦于靶材表面或介质内部时,若其峰值功率密度超过某一阈值,靶材表面或介质内部会形成等离子体,等离子体......
国外光电子技术的热门应用和对国内发展的看法于祖兰,卢中尧(《激光技术》编辑部)90年代以来,国外的激光和光电子技术在办公现代化、材料......
目前激光微型加工主要用于微电子学、微型机械加工、微光学领域,本文对它在这几方面的应用情况及其他方面的前景作一介绍。1 微电......
1 引言飞秒激光的独特性质决定它在科学技术和医学等不同领域有广泛应用。超短脉冲实际应用的效率是由脉冲的最小宽度及与其有关的......
尽管2008年全球经济增长遇到了油价上涨、消费者信心下滑的影响,但预计激光市场仍将保持增长态势。新型激光设计、成本下降及不断微......
利用准分子激光微加工技术与模塑技术相结合的方法制造微流控芯片。用准分子激光在玻璃基胶层上刻蚀出加工质量较高的微流控生物芯......
集成化真空电子器件借鉴了集成电路的概念,通过采用高精度平面高频系统,微加工和微组装技术,发展出结构紧凑、一致性好、频带宽和......
本文综述了利用飞秒激光三维直写技术,在玻璃和晶体等透明介电材料中实现微流体、微光学、微电子学等一系列功能性微纳结构,并进一......
为了得到理想的光纤切割断面,利用飞秒激光对石英光纤材料进行切割微加工实验。研究激光功率、脉冲频率、扫描速度等加工参数与光......
飞秒激光能够利用超高速的速度将能量集中在一个限定的区域,这样就能够实现对材料的冷加工。目前,在材料微加工中,对飞秒激光的应用已......
微机电系统(MEMS)感测器制造技术迈入新里程碑。意法半导体(ST)宣布成功结合面型微加工(Surface-micromachining)和体型微加工(Bul......
微流控纸芯片是一种新兴的微流控分析技术平台,具有成本低、加工简易、使用和携带方便等优点,在临床诊断、食品质量控制和环境监测......
海参进入寻常百姓家 目前,作为营养滋补品之一的海参产品及海参营养套餐销售进入旺季。号称“营养赛人参”的海参,为什么受到众多......
功分器是将信号按照一定比例进行功率分配的微波器件,广泛应用于微波电路.鉴于超导功分器是超导量子计算电路和超导微波光子探测器......
相比于传统的连续激光,飞秒激光具有极短的脉冲宽度、极高的峰值功率和极广的频谱覆盖范围,在材料精细加工方面具有独特的优势。飞......
流体通道尺寸为亚微米与亚毫米之间的微反应器具有传质效率高、强化反应过程等优势。现有微反应器多采用金属、聚合物和玻璃等材料......
提出一种灵敏度和测量范围可调的交流/直流电场传感器设计方案。该传感器采用绝缘体微加工工艺制造,由微弹簧支撑的金属膜组成,其......
射频开关是无线通信系统的常用器件。快速发展的微电子通信领域对射频开关的射频性能的要求越来越高,固态开关已无法满足需求,微机......
相对于经典的计算机,量子计算机有着很大的优势,在众多实现量子计算的方案中,固态方式的超导量子比特是最具可能性的。超导量子比......
在电化学反应中,温度是最重要的变量之一,因为温度对热力学过程、动力学过程和扩散传质过程有很重要的依赖关系。随着纳米材料和纳......
聚焦离子束加工作为一种微纳加工手段,可以用来制造纳米元件和微结构元件。研究了在多芯光纤的末端,使用聚焦离子束加工技术设计和......
一、市场规模激光加工机是10年前正式开发成型的,1979年以来市场迅速扩大。关于这一点,虽然日本国内目前尚无确切的数据说明,但是......
研究了Ar离子激光器与硅各向异性腐蚀技术相结合制造硅杯的方法。结果表明,激光照射能增强浸于KOH溶液中硅的化学腐蚀速率,在入射光强为4.6W,KOH溶......
飞秒激光诱导金属表面周期性自组织微纳米条纹结构,在调控热辐射源、摩擦、超亲水性、超疏水性和打标等方面具有广泛的应用前景.研......
激光焊接技术是21世纪最受瞩目、最有发展前景的焊接技术之一,凭借其焊接精度、效率、可靠性、自动化等方面的优越性,广泛应用于各......
【摘要】带电液滴是负载有电荷的微小液滴,其在化工,电子等领域有的广泛的应用价值。本文利用微流控芯片技术,在流聚焦沟道处实现了微......
作为一种微米尺度的类似针状器件,微针可以克服传统经皮给药(TDD)的局限,在皮肤上无痛、无出血地产生微米量级的孔洞,提高药物尤其......
利用微加工法可以在F P半导体激光器中引入具有反射功能的缺欠点或面来改进激光器的光谱特性。作者导出了含有多个缺欠点的微加工......
引言rn 波长248 nm的KrF准分子激光器广泛用于不同技术领域,例如不同材料的微加工、紫外光刻和打标等。提高激光器的平均功率或脉冲......
本文分析了2000年至今国内外的飞秒激光微加工技术专利信息,从年度申请量、地域分布、技术演进路线三个维度进行了分析.分析发现飞......
由于尺寸相近,微流控技术被认为是处理细胞的极佳工具。现在有多种技术都是利用微流控芯片进行血细胞分离。但是很多技术都需要成套......