248nm深紫外光刻胶相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

248nm深紫外光刻胶相关论文

耐高温紫外正型光刻胶和248nm深紫外光刻胶的研制

光刻胶是完成微电子制造光刻工艺的关键性基础材料,它决定着微电子技术的发展水平。光刻胶通常由成膜树脂、感光剂、溶剂和一些添......

学位

耐高温紫外正型光刻胶 248nm深紫外光刻胶成膜树脂感光剂光致酸发生剂阻溶剂显影成像

看过本文同时还关注