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阐述了某国外盐穴储气库利用氮气作为阻溶剂建造盐穴储气库腔体的实际操作过程，包括地面注氮气工艺，在溶腔开始阶段、初期阶段、溶腔......
综述了近十年来DUV抗蚀剂体系的进展,特别对DUV区化学增幅抗蚀剂的矩阵树脂、产酸源、阻溶剂作了详细的阐述.并指出,通过改进感光......
(续上期)在DUV抗蚀剂中除第1部分已介绍过的主体成膜高分子以外,产酸源、阻溶剂及其他一些添加剂也是抗蚀剂体系不可缺少的组分,对......
以松香酸为主原料合成了适用于193nm光致抗蚀剂的新型阻溶促溶剂,并对其热稳定性、成像性质等进行了研究。结果表明:新型阻溶剂不......
期刊
光刻胶是完成微电子制造光刻工艺的关键性基础材料,它决定着微电子技术的发展水平。光刻胶通常由成膜树脂、感光剂、溶剂和一些添......
报道三种魔芋葡甘聚糖颗粒阻溶剂的配方组成，并利用阻溶剂A进行了魔芋精粉湿法制备试验。阻溶剂A由硼酸盐──柠檬酸盐──亚硫酸盐......
