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5-羧基苯并三唑（CBT）相关论文

集成电路钴插塞弱碱性粗抛液及平坦化控制机理的研究

集成电路现处于极大规模（GLSI）发展阶段,传统的钨插塞已经无法满足器件的性能要求,钴（Co）材料由于具有较小的电阻率以及好的沟槽填充比......

学位

钴插塞弱碱性抛光液化学机械平坦化二乙烯三胺五乙酸五钾（DTPA-5K） 5-羧基苯并三唑（CBT）

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