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通过有机金属化学气相沉积法在AlN/蓝宝石衬底上生长AlGaN基多量子阱结构的发光二极管(LEDs),其对应的发光峰值波长为264nm(UV-C区)。......
目前200~280nm波段深UVC LED灯的研究正在成为各国在UV-LED领域竞争的攻关方向,传统在蓝宝石等非本征衬底上生长有源层的过程中会......