深紫外相关论文
准分子激光是大功率输出的深紫外波段激光光源，在多方面具有独特的应用，然而国内的准分子激光行业在关键技术、高端产品等方面和国外......
光刻工艺随集成电路的发展成为核心环节，被誉为集成电路制造这顶皇冠上最耀眼的明珠。而光刻技术离不开其辅助材料光刻胶，每一代光刻......
近年来宽禁带深紫外光电探测器因其在众多应用领域备受需求成为研究热点。但其中材料薄膜的生长,器件的制备成本和性能以及制备过......
The conversion efficiency on the sixth harmonic of 1064 nm in KBe2BO3F2 (KBBF) at different gas pressures in two kinds o......
AlGaN材料是一种直接带隙第三代宽禁带半导体材料，其禁带宽度可通过改变AlGaN材料中Al元素的掺入量从3.4eV到6.2eV连续可调，是当前制......
取代基通过取代苯环上的H原子形成不同苯系物(苯、甲苯、二甲苯等),其共有结构苯环上的不固定π键电子受到激发,使得苯系物在紫外......
为了精确控制曝光剂量,需要精确测量光刻系统的光学透射率。采用了双光路对比的方法进行透射率测量,有效地消除了准分子激光器能量......
近年来,基于高Al组分AlGaN及其低维量子结构的深紫外(DUV)短波长发光二极管(LED)引起了极大地关注,在日常照明、杀菌消毒、智能家......
自然水体中所存在的溶解性有机物(DOM),是一类化学组成高度复杂的混合物,其来源于生物残体分解或人类生产活动,广泛存在于各类水体......
学位
LED照明作为最具优势高效节能照明技术,已成为世界各国节能照明重点推广产品。荧光粉是构成白光LED照明器件的关键材料,其组成、尺......
匀光系统的均匀性是实现深紫外CMOS图像传感器参数测试的关键.根据傅里叶光学理论,结合ArF准分子激光输出光斑特点,设计了复眼阵列......
深紫外（DUV）波段，是指波长介于200-40 nm的电磁辐射波段。基于KBBF晶体与PCD（棱镜耦合器件）的发明，通过直接倍频技术得到DUV－DPL（深紫外全......
1 课题简介rn本课题的主要研究内容是针对GaN基深紫外LED外延材料生长的MOCVD设备的研制、开发和生产.研制的MOCVD设备基本性能指......
<正>氧化镓（β-Ga2O3）单晶是一种第四代超宽禁带氧化物半导体,其禁带宽度为4.84.9eV,具有独特的紫外透过特性（吸收截止边260nm）;击穿电......
到目前为止,KBe2BO3F2(KBBF)被认为性能最优秀的深紫外透过的非线性光学材料,但是其晶体的层状生长习性严重限制了该物质的应用.近......
自激光产生以来,人们已经利用非线性光学晶体材料中的各种非线性光学效应(倍频、和频、差频等)成功地将激光的窗口扩大到深紫外、......
193 nm波长浸没式步进扫描投影光刻机是实现45 nm及以下技术节点集成电路制造的核心装备.增大数值孔径是提高光刻分辨率的有效途径......
信息化时代汹涌而至,作为21世纪的新型战略产业,LED产业已成为高新技术产业的重要组成部分,是未来经济持续发展的重要突破点,近年......
深紫外非线性光学晶体是深紫外全固态激光器的关键部件。由于带隙、非线性光学系数、双折射率等因素的限制,除KBe2BO3F2晶体外,现......
研制了千赫兹213 nm深紫外全固态激光器。激光器采用脉冲LD侧面泵浦方式和电光调Q技术,实现了10瓦级基频光的稳定输出。利用多次倍......
摘 要：金属纳米结构具有表面等离激元（Surface Plasmon，SP），与光相互作用下会产生特殊的光学特性，在光学透射增强和光电信息增强等方面有......
光子晶体光纤作为光学非线性良好介质,对超连续谱产生具有重要作用。深紫外超连续谱光源在许多应用中有急切的需求,然而由于实验条......
在大数值孔径深紫外光学系统中,需要使用宽入射角范围的增透膜光学元件。选择LaF3和MgF2两种镀膜材料,设计了适用于深紫外宽入射角......
用磁控溅射法在室温条件下制备了Al膜、Ga2O3膜及Ga2O3／Al／Ga2O3三层膜，对其光学和电学性能进；行了表征,单层Al膜厚度大于7nm时，光学透......
为了研究AlGaN量子阱层和垒层中Al组分不同对AlGaN基深紫外发光二极管（LED）光电性能的影响,本文利用MOCVD生长、光刻和干法刻蚀工艺......
深紫外光学晶体在光通信和激光系统等领域有重要的应用。例如,应用于光隔离器、光学起偏器、193 nm光刻偏振仪、紫外光分光光度计......
近日，青岛市“紫外LED产业化关键技术攻关”项目获得重大突破，由青岛杰生电气有限公司研发生产的深紫外LED发光强度超过2．0毫瓦，主要技......
<正>透深紫外光学玻璃是中国建材总院"十二五"期间重要科技成果之一。该玻璃在185nm~200nm范围内的远紫外区仍具有较高的光谱透过......
描述了一种采用化学方法的分辨率增强技术制作深亚微米T型栅的技术。该技术采用DUV投影光刻机和化学放大正性光刻胶（CAR）以及分辨率......
紫外线可以通过对细胞、病毒等单细胞微生物的照射,以破坏失去繁殖能力。利用紫外线杀菌具有安全、方便、无残留等优点,故应用范围......
新型冠状病毒肺炎疫情引起了人们对消毒产品的重视.深紫外光照射是广泛应用的杀菌消毒手段.深紫外发光二极管(light-emitting diod......
近日,健康和卫生公司RayVio Corp.宣布其正在量产新款280纳米XD中等功率和XR高功率深紫外发光二极管（UVC LED）,并建立行业领先的10 0......
中心波长800nm的钛宝石飞秒激光在透明介质成丝过程中具有非常丰富的物理效应,如频谱展宽,脉冲压缩,锥状辐射,谐波输出,化学反应,......
紫外光探测器已经广泛应用于天体物理分析,大气臭氧研究,环境污染监测,火灾预警,矿产勘探和开采,医疗卫生、紫外通信以及导弹预警......
聚对羟基苯乙烯和环己基乙烯基醚反应得到缩醛保护的聚合物.该聚合物易溶于常见的有机溶剂,具有较好的热稳定性,在248 nm处透明性......
深紫外（DUV）相干光源对于光刻技术、激光微加工、激光光谱仪等均具有重要的意义。KBe2BO3F2（KBBF）晶体是目前唯一可直接倍频产生深紫外......
硼酸盐化合物结构类型丰富,在激光材料、非线性光学、矿物学等方面具有重要的应用,使得硼酸盐体系的合成一直受到广大晶体研究学者......
通过对晶体原料的提纯及生长工艺条件的优化,采用改进的坩埚下降法成功地制备出直径达到180 mm的高质量氟化锂单晶。晶体的透过率......
本文基于数值孔径为0.75，满足90 nm技术节点的DUV光刻物镜系统，采用在透镜边缘施加支撑力的方式进行重力变形控制。采用有限元法研究......
<正>深紫外光,是指波长短于200nm(纳米)的光波,属于不可见光,光子能量大,是深紫外前沿研究的核心光源,过去主要依靠同步辐射和气体......
为了满足深紫外光刻物镜对薄膜的要求,得到低损耗、高稳定性、长寿命的深紫外薄膜,需要选用适当的镀膜工艺方法。分别选取了离子束......
目前200~280nm波段深UVC LED灯的研究正在成为各国在UV-LED领域竞争的攻关方向,传统在蓝宝石等非本征衬底上生长有源层的过程中会......
降低薄膜的吸收对于氧化物薄膜在深紫外波段的应用具有重要意义,为此采用离子束溅射方法分别制备了用于深紫外波段的Al2O3和SiO2薄......
深紫外光学薄膜在准分子激光器、深紫外光刻机中发挥着重要的作用,它是保证系统达到设计要求的必要条件,也决定了系统的稳定性以及......
