AZ4620光刻胶相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

AZ4620光刻胶相关论文

AZ4620光刻胶的喷雾式涂胶工艺

对于一些MEMS应用,需要在形貌起伏很大的晶圆表面均匀地涂布光刻胶。喷雾式涂胶工艺满足了这些要求。研究了几种稀释的AZ4620光刻......

期刊

喷雾式涂胶机 AZ4620光刻胶膜厚均匀性

结构化晶圆表面厚胶喷涂工艺

采用超声雾化喷涂技术,以AZ4620光刻胶为研究对象,以硅通孔(TSV)刻蚀后的硅片为基材,在12英寸(1英寸=2.54 cm)结构化晶圆表面喷涂......

期刊

喷胶 AZ4620光刻胶硅通孔(TSV) 胶颗粒粒径台阶覆盖率

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