AZ光胶相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

AZ光胶相关论文

光胶做挡光层的紫外光刻掩膜用于高聚物芯片表面选择性光化学改性

紫外光谱研究表明,AZ正性光胶当厚度大于10μm时,在200～285nm的紫外光区几乎不透光。本研究据此研制了一种以固化后的AZ光胶做挡光......

期刊

光刻掩膜 AZ光胶聚碳酸酯光化学改性金微电极 Photomask AZ photoresist polycarbonate phtoochemica

看过本文同时还关注