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直流反应磁控溅射在3003铝箔表面制备薄膜的研究
为有效提高3003铝箔表面光泽度、比面积及强硬度,采用直流反应磁控溅射的方法.在一定溅射参数条件下,选用高纯钼靶和钛靶对3003铝......
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