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ArF准分子激光退火相关论文

利用ArF准分子激光退火获得小锗量子点的研究

使用ArF准分子激光脉冲对UHV/CVD条件下生长的Ge量子点进行退火处理,获得了底宽为20-25nm的光致量子点（LIQD）,远小于退火前的量子点......

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GE量子点 ArF准分子激光退火光致量子点原子力显微镜 Ge quantum dot ArF excimer laser annealing LIQD

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