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Au凸点相关论文
电沉积金凸点及溅射沉积UBM层薄膜的分子模拟研究
随着半导体技术的飞速发展,半导体工艺已逐渐接近原子尺寸级别,晶圆级封装、微纳结构互连以及3D封装等先进封装技术已成为延续摩尔......
学位
电沉积
溅射沉积
Au凸点
UBM层
分子动力学
动力学蒙特卡洛
电流密度对无氰电镀Au凸点生长行为的影响
研究一种以氯金酸钠为主盐的无氰镀金液在80℃、镀液pH为8.0时阴极电流密度(J)对Au凸点生长行为的影响。结果表明:J在0.5~2.5A/dm2......
期刊
无氰电镀
镀金
Au凸点
电流密度
生长行为
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